産(chǎn)品時間(jian):2025-12-01
mf4001廣東(dong)微小口(kǒu)徑氣體(tǐ)質量流(liu)量計是(shi)專門爲(wei)各類小(xiǎo)流量🏃♀️氣(qi)✉️體的測(ce)量和過(guo)程控制(zhi)而設計(ji)的。這一(yi)系列傳(chuán)感器均(jun)采用本(běn)公司自(zì)主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳(chuán)感芯片(pian)來制作(zuo),适用于(yu)各類清(qing)潔氣體(ti)。*的封裝(zhuāng)🔅技術使(shi)之可用(yong)于各類(lèi)管徑,成(cheng)本低、易(yì)安裝、不(bú)需要溫(wēn)度壓力(lì)補✂️償,可(ke)替代容(róng)積式或(huò)壓差式(shì)的傳統(tong)流量傳(chuán)感器。
mf4001廣(guang)東微小(xiǎo)口徑氣(qì)體質量(liàng)流量計(ji)
産(chan)品特點(dian):
-
傳(chuan)感器靈(ling)敏度高(gao)
,
有(you)極小的(de)始動流(liu)量
-
傳感器(qi)芯片采(cǎi)用熱質(zhi)量流量(liang)計量
,
無需(xū)溫度壓(ya)力補償(chang)
,
保(bao)證了傳(chuan)
-
感(gǎn)器的高(gāo)精度計(ji)量
-
在單個(ge)芯片上(shang)實現了(le)多傳感(gan)器集成(cheng)
,
使(shǐ)傳感器(qi)的量程(chéng)比大大(dà)提高
-
傳感(gan)器的零(líng)點穩定(ding)度高
-
全量(liang)程高穩(wen)定性
-
全量(liàng)程高精(jīng)确度和(hé)優良的(de)重複性(xìng)
-
低(dī)功耗
-
低壓(ya)損
-
響應時(shi)間快
mf4001廣(guǎng)東微小(xiao)口徑氣(qì)體質量(liang)流量計(ji) 機(ji)械尺寸(cun):

主要(yao)參數:
|
性(xing)能參數(shù) |
FS4001 |
單位 |
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|
通(tōng) 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
|
大流(liu)量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程(chéng)比 |
>100:1 |
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精 度(dù) |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性(xìng) |
0.25 |
%讀數 |
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零(líng)點輸出(chu)飄移 |
±30 |
mV |
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輸(shu)出飄移(yi) |
±0.12 |
%/oC |
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響應時(shi)間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作(zuò)電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸(shū)出方式(shi) |
線性,RS232/模(mo)拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc |
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大流量(liang)壓損 |
350 |
300 |
pa |
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大(da)工作壓(ya)力 |
0.5 |
MPa |
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工作(zuò)溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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|
存(cun)儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕(shi)度 |
<95%RH(無結(jié)冰、無凝(níng)露) |
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機械(xiè)接口 |
可(ke)拆式軟(ruǎn)管接頭(tóu) |
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校準方(fāng)式 |
空氣(qì)(或其他(ta)氣體),20oC,101.325kPa |
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|
|
重(zhòng)量 |
15 |
g |
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