産(chan)品時間:2025-12-01
FS4001系(xì)列測量氣(qì)體流量傳(chuan)感器是專(zhuān)門爲各類(lèi)小流量氣(qì)體的測量(liang)💜和過程控(kong)制而設計(ji)的。這一系(xi)列傳感💃🏻器(qì)均采用本(běn)公司自主(zhǔ)研發的微(wēi)機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳🐕感(gan)芯片來制(zhì)作👨❤️👨,适用于(yu)各類清潔(jié)氣體。
簡介(jie):
FS4001系列測量(liang)氣體流量(liang)傳感器 是專門(mén)爲各類小(xiǎo)流量氣體(ti)的測量和(he)過程控制(zhì)而設計的(de)。這♌一系列(liè)傳感器均(jun1)采用本公(gong)司自主研(yán)發的微♍機(jī)電系統🐉( MEMS )流量傳(chuan)感芯片來(lai)制作。
FS4001系列(lie)測量氣體(ti)流量傳感(gǎn)器 适(shì)用于各類(lèi)清潔氣體(tǐ)。*的封裝技(ji)術使之可(ke)用于各類(lei)管🌈徑🏃♂️,成本(ben)低、易安裝(zhuang)、不需要溫(wēn)度壓力補(bu)償,可替代(dai)容積式或(huò)壓❗差式🐪的(de)傳統流量(liang)傳感器。
産(chǎn)品特點:
-
傳感器(qì)靈敏度高(gāo)
,
有極(jí)小的始動(dong)流量
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傳感器芯(xīn)片采用熱(re)質量流量(liang)計量
,
無需溫度(du)壓力補償(chang)
,
保證(zhèng)了傳
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感器的高(gāo)精度計量(liang)
-
在單(dan)個芯片上(shàng)實現了多(duo)傳感器集(ji)成
,
使(shi)傳感器的(de)量程比大(da)大提高
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傳感器(qì)的零點穩(wěn)定度高
-
全量程(chéng)高穩定性(xing)
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全量(liàng)程高精确(que)度和優良(liang)的重複性(xìng)
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低功(gong)耗
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低(dī)壓損
-
響應時間(jian)快
主(zhǔ)要參數:
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性(xing)能參數 |
FS4001 |
單(dān)位 |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大(dà)流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程(cheng)比 |
>100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重(zhong)複性 |
0.25 |
%讀數(shu) |
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零點輸出(chū)飄移 |
±30 |
mV |
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輸出(chu)飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響應(yīng)時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作(zuo)電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出(chū)方式 |
線性(xing),RS232/模拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc |
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大流量壓(yā)損 |
350 |
300 |
pa |
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大工作(zuò)壓力 |
0.5 |
MPa |
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工作(zuò)溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲(chǔ)溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作(zuò)濕度 |
<95%RH(無結(jie)冰、無凝露(lù)) |
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機械接口(kǒu) |
可拆式軟(ruan)管接頭 |
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校(xiào)準方式 |
空(kong)氣(或其他(ta)氣體),20oC,101.325kPa |
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重量(liàng) |
15 |
g |
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