FS4001系列實(shi)驗室氣體(tǐ)流量傳感(gan)器

産品簡(jian)介：

FS4001系列實(shi)驗室氣體(tǐ)流量傳感(gǎn)器 是(shì)專門爲各(ge)類小流量(liang)氣體的測(ce)量和過程(chéng)控制而設(shè)計的。這一(yi)系列傳感(gǎn)器均采用(yòng)本公司自(zì)主研發的(de)微機電👈系(xi)統（ MEMS ）流(liú)量傳感芯(xīn)片來制作(zuò)。

FS4001系列實驗(yan)室氣體流(liú)量傳感器(qì) 适用(yong)于各類清(qing)潔氣體。*的(de)封裝技術(shù)使之可用(yòng)于各類管(guan)👄徑，成本低(dī)、易安裝、不(bu)需要溫度(dù)壓力補償(chang)，可替代容(rong)積式或壓(ya)差式的傳(chuán)統流量傳(chuan)感器。

産品(pin)特點：
  - 傳感器靈(ling)敏度高 , 有極小(xiǎo)的始動流(liú)量
  - 傳(chuan)感器芯片(pian)采用熱質(zhì)量流量計(jì)量 , 無(wú)需溫度壓(ya)力補償 , 保證了(le)傳
  - 感(gan)器的高精(jīng)度計量
  - 在單個(ge)芯片上實(shi)現了多傳(chuán)感器集成(cheng) , 使傳(chuan)感器的量(liàng)程比大大(da)提高
  - 傳感器的(de)零點穩定(ding)度高
  - 全量程高(gāo)穩定性
  - 全量程(cheng)高精确度(du)和優良的(de)重複性
  - 低功耗(hào)
  - 低壓(ya)損
  - 響(xiǎng)應時間快(kuài)

機械(xie)尺寸：

主要(yào)參數：