氣體(ti)流量監測(cè)傳感器

産(chan)品時間：2025-12-01

簡(jian)要描述：

FS4001系(xì)列氣體流(liu)量監測傳(chuan)感器适用(yòng)于各類清(qīng)潔氣體⛱️。*的(de)封裝技術(shù)使之可用(yong)于各類管(guǎn)徑，成本低(di)、易安裝、不(bu)需要溫度(du)壓力補償(chang)，可替代容(rong)積式或壓(ya)差式的傳(chuán)統流👨‍❤️‍👨量傳(chuan)感🈲器。

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詳細(xì)介紹

産品(pǐn)簡介：

FS4001系列(lie) 氣體流量(liàng)監測傳感(gǎn)器 是(shì)專門爲各(gè)類小流量(liang)氣體的測(cè)量和過程(cheng)控制而設(shè)⛹🏻‍♀️計的🔞。這一(yī)系列傳感(gan)器均采用(yòng)本公司自(zì)主研發的(de)微機電系(xi)統（ MEMS ）流(liú)量傳感芯(xin)片來制作(zuò)。

FS4001系列 氣體(tǐ)流量監測(cè)傳感器 适用于(yu)各類清潔(jie)氣體。*的封(fēng)裝技術使(shi)之可用于(yu)各類管徑(jing)，成🥰本低、易(yi)安裝、不需(xu)要溫度壓(yā)力補償，可(kě)替代容積(jī)式㊙️或壓差(chà)式的傳統(tǒng)流量傳感(gan)器。

産品特(tè)點：
- 傳(chuan)感器靈敏(min)度高 , 有極小的(de)始動流量(liang)
- 傳感(gan)器芯片采(cǎi)用熱質量(liang)流量計量(liàng) , 無需(xū)溫度壓力(li)補償 , 保證了傳(chuan)
- 感器(qi)的高精度(du)計量
- 在單個芯(xin)片上實現(xiàn)了多傳感(gan)器集成 , 使傳感(gan)器的量程(cheng)比大大提(ti)高
- 傳(chuan)感器的零(líng)點穩定度(du)高
- 全(quán)量程高穩(wěn)定性
- 全量程高(gāo)精确度和(hé)優良的重(zhòng)複性
- 低功耗
- 低壓損(sun)
- 響應(ying)時間快

機械尺(chǐ)寸：

性能參(cān)數	FS4001		單位
通(tong) 徑	1.0	1.8	mm
大流量(liàng)	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程比	>100：1
精(jīng) 度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xing)	0.25		%讀數
零點(diǎn)輸出飄移(yí)	±30		mV
輸出飄移(yí)	±0.12		%/oC
響應時間(jiān)	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源(yuan)	8~18Vdc,50mA
輸出方式(shi)	線性，RS232/模拟(ni)電壓0.5~4.5Vdc
大流(liu)量壓損	350	300	pa
大(da)工作壓力(lì)	0.5		MPa
工作溫度(du)	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(dù)	-20 ~ +65		oC
工作濕度(du)	<95%RH（無結冰、無(wu)凝露）
機械(xiè)接口	可拆(chai)式軟管接(jie)頭
校準方(fang)式	空氣（或(huò)其他氣體(tǐ)），20oC，101.325kPa
重量	15		g