産(chan)品時間:2025-12-01
FS4001系(xì)列氣體流(liu)量監測傳(chuan)感器适用(yòng)于各類清(qīng)潔氣體⛱️。*的(de)封裝技術(shù)使之可用(yong)于各類管(guǎn)徑,成本低(di)、易安裝、不(bu)需要溫度(du)壓力補償(chang),可替代容(rong)積式或壓(ya)差式的傳(chuán)統流👨❤️👨量傳(chuan)感🈲器。
産品(pǐn)簡介:
FS4001系列(lie) 氣體流量(liàng)監測傳感(gǎn)器 是(shì)專門爲各(gè)類小流量(liang)氣體的測(cè)量和過程(cheng)控制而設(shè)⛹🏻♀️計的🔞。這一(yī)系列傳感(gan)器均采用(yòng)本公司自(zì)主研發的(de)微機電系(xi)統( MEMS )流(liú)量傳感芯(xin)片來制作(zuò)。
FS4001系列 氣體(tǐ)流量監測(cè)傳感器 适用于(yu)各類清潔(jie)氣體。*的封(fēng)裝技術使(shi)之可用于(yu)各類管徑(jing),成🥰本低、易(yi)安裝、不需(xu)要溫度壓(yā)力補償,可(kě)替代容積(jī)式㊙️或壓差(chà)式的傳統(tǒng)流量傳感(gan)器。
産品特(tè)點:
-
傳(chuan)感器靈敏(min)度高
,
有極小的(de)始動流量(liang)
-
傳感(gan)器芯片采(cǎi)用熱質量(liang)流量計量(liàng)
,
無需(xū)溫度壓力(li)補償
,
保證了傳(chuan)
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感器(qi)的高精度(du)計量
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在單個芯(xin)片上實現(xiàn)了多傳感(gan)器集成
,
使傳感(gan)器的量程(cheng)比大大提(ti)高
-
傳(chuan)感器的零(líng)點穩定度(du)高
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全(quán)量程高穩(wěn)定性
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全量程高(gāo)精确度和(hé)優良的重(zhòng)複性
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低功耗
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低壓損(sun)
-
響應(ying)時間快
機械尺(chǐ)寸:
主要參(cān)數:
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性能參(cān)數 |
FS4001 |
單位 |
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通(tong) 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量(liàng) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比 |
>100:1 |
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精(jīng) 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性(xing) |
0.25 |
%讀數 |
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零點(diǎn)輸出飄移(yí) |
±30 |
mV |
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輸出飄移(yí) |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間(jiān) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源(yuan) |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式(shi) |
線性,RS232/模拟(ni)電壓0.5~4.5Vdc |
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大流(liu)量壓損 |
350 |
300 |
pa |
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大(da)工作壓力(lì) |
0.5 |
MPa |
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工作溫度(du) |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度(du) |
<95%RH(無結冰、無(wu)凝露) |
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機械(xiè)接口 |
可拆(chai)式軟管接(jie)頭 |
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校準方(fang)式 |
空氣(或(huò)其他氣體(tǐ)),20oC,101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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