産品(pin)時間：2025-12-01
FS4001系(xì)列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是(shì)專門爲各類👈小流(liú)量氣體的測量和(he)過程控制而設計(jì)的。這一系🥵列傳感(gan)器均采用本公司(sī)自主研發的微機(jī)電系統（MEMS）流量傳感(gǎn)芯片來制作❗，适用(yòng)于各類清🚶♀️潔氣體(ti)。*的封裝技術使之(zhī)可用于各類管徑(jìng)，成本低、易安裝、不(bu)需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式(shi)或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
産品簡介(jiè)：
FS4001系列小流量氣體(ti)質量流量傳感器(qì) 是專門爲各類小(xiǎo)流量氣體的測量(liang)和過程控制而🧑🏽🤝🧑🏻設(she)計的。這一⭐系列傳(chuan)感器均采用本公(gōng)司自主研發✔️的微(wei)機電💃🏻系統（MEMS）流量傳(chuan)感芯片來制作，适(shì)用于各類清潔氣(qi)體。*的封裝技術📐使(shi)之可🔞用于各🧑🏽🤝🧑🏻類管(guǎn)徑，成本㊙️低、易安裝(zhuang)、不需要溫度壓力(lì)補償，可替代🌈容積(jī)式或🌂壓差式的傳(chuán)✨統流量傳感🔅器。
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FS4001系列(liè)小流量氣體質量(liang)流量傳感器
靈敏(mǐn)度高,有小的始動(dong)流量傳感器芯片(piàn)采用熱質量流量(liàng)計量,無需溫度壓(yā)力補償,保證了傳(chuan)感器的🛀高精🌈度計(jì)量在單個芯片🤩上(shang)實現了多傳感器(qì)集成♊,使傳感器的(de)量程比大大提高(gāo)傳感器的零點穩(wen)定度高全量程高(gāo)穩定性全量程高(gāo)精确度🔴和優良的(de)🔅重複性低功耗低(dī)壓損響應時間快(kuai)
主要參數：
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FS4001 |
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1.0 |
1.8 |
mm |
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大流(liú)量 |
30, 100, 200 |
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SCCM |
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≥100:1 |
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精 度 |
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0.25 |
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零點輸(shū)出飄移 |
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mV |
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±0.12 |
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mses |
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工作電(dian)源 |
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輸出方式 |
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大工作壓力(lì) |
0.5 |
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存儲溫(wēn)度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH（無結(jie)冰、無凝露） |
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可拆式軟管接(jie)頭 |
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空氣(qì)（或其他氣體），20oC，101.325kPa |
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15 |
g |
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機械尺寸：
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