FS4008微型氣體(ti)質量流量計 ,0-20SLPM微(wei)型氣體質量流(liu)量計
FS4008微型氣體(ti)質量流量計 ,0-20SLPM微(wēi)型氣體質量流(liu)量計
FS4000 系列微型氣體(tǐ)質量流量計是(shi)采用*的微機電(diàn)系統♉( MEMS
FS4008 流量傳感(gǎn)器,管道内徑爲(wèi) 8mm ,測量範圍zui大到(dào) 50SLPM ;可用于麻醉設(she)備、潔淨氣體檢(jian)測,如:空氣采樣(yàng)機,氣體分析儀(yí)🛀等
- 支持多種(zhong)連接方式,易于(yú)安裝與使用
- 傳(chuan)感芯片采用熱(re)質量流量計量(liàng),無需溫度壓力(lì)補償🤩,保證⚽了傳(chuán)感器的高精度(dù)計量
- 在單個芯(xin)片上實現了多(duō)傳感器集成,使(shi)其量程比達🈚到(dao)了 100:1 甚至更高
- 輸(shū)出方式靈活,既(ji)可通過通訊接(jiē)口主動上傳數(shu)據🧑🏽🤝🧑🏻或🈲由☁️上位機(ji)查詢輸出數據(jù),也可通過模拟(nǐ)接口輸出線性(xing)的模拟⛹🏻♀️電壓
- 零(líng)點穩定度高
- 全(quán)量程高穩定性(xìng)、高精确度和優(yōu)良的重複性
- 響(xiǎng)應速度快
機械(xie)尺寸 :
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性能參數(shù) |
FS4008 |
單位 |
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通徑 |
3 |
8 |
mm |
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zui大流(liu)量 |
2, 3, 4, 5 |
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SLPM |
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> |
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±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性 |
0.5 |
% |
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零點輸(shū)出飄移 |
±30 |
mV |
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0.12 |
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響應時間 |
(默(mo)認、 20 、 50 、 100 、 200 、 500 、 1000 可設置) |
ms |
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工作(zuo)電源 |
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線性, 0.5~4.5Vdc |
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100 |
600 |
pa |
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zui大(da)工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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-10 ~ +55 |
o C |
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存儲溫度(du) |
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C |
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<95%RH (無結(jié)冰、無凝露) |
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機械(xie)接口 |
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校準方式 |
空氣(qi)(或其他氣體), 20oC , 101.325kPa |
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52
(帶
R1/4,BSPT1/4
接口)
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