氣體檢測(ce)/測漏流量計(jì)
産品簡介:
FS4001系(xì)列小流量氣(qi)體質量流量(liang)傳感器是專(zhuan)門爲各類小(xiǎo)流量氣體的(de)測量和過程(cheng)控制而設計(ji)的。這一系列(liè)傳🐕感器🏒均采(cai)✔️用本公司自(zi)主研發的微(wei)機電系統(MEMS)流(liu)量傳感芯片(pian)來制作,适用(yòng)于各類清潔(jie)氣體。*的封裝(zhuang)技術使💔之可(ke)用于各類管(guǎn)徑,成本低、易(yì)安裝、不需要(yao)溫度壓力補(bǔ)償,可替代☔容(róng)積式或壓差(cha)式的傳統流(liu)量傳感器。
氣(qì)體檢測/測漏(lou)流量計産品(pin)特點:
- 傳感器(qi)靈敏度高,有(you)極小的始動(dong)流量
- 傳感器(qì)芯片采用熱(rè)質量流量計(jì)量,無需溫度(du)壓力補償,保(bǎo)證了傳
- 感器(qì)的高精度計(ji)量
- 在單個芯(xīn)片上實現了(le)多傳感器集(jí)成,使傳感器(qì)的量程💔比大(da)大提高
- 傳感(gǎn)器的零點穩(wěn)定度高
- 全量(liàng)程高穩定性(xìng)
- 全量程高精(jing)确度和優良(liang)的重複性
- 低(dī)功耗
- 低壓損(sun)
- 響應時間快(kuài)
主要參數:
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性(xìng)能參數
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FS4001
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單位(wèi)
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通 徑
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1.0
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1.8
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mm
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zui大流量(liàng)
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30, 100, 200
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500, 1000
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SLPM
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量程比
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2132132132131231312100:1
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精 度(dù)
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±(1.5+0.2FS)
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%
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重複性
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0.25
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%讀數(shù)
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零點輸出飄(piāo)移
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±30
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mV
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輸出飄移(yi)
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±0.12
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%/oC
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響應時間
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131
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mses
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工(gōng)作電源
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8~18Vdc,50mA
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輸出(chū)方式
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線性,RS232/模(mó)拟電壓0.5~4.5Vdc
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zui大流(liú)量壓損
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350
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300
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pa
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zui大工(gōng)作壓力
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0.5
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MPa
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工作(zuo)溫度
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-10 ~ +55
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oC
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存儲溫(wen)度
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-20 ~ +65
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oC
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工作濕度(du)
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<95%RH(無結冰、無凝(ning)露)
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機械接口(kou)
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可拆式軟管(guan)接頭
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校準方(fāng)式
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空氣(或其(qí)他氣體),20oC,101.325kPa
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重量(liàng)
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15
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g
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