微小氣體(tǐ)流量計FS4001

微(wei)小氣體流(liú)量計FS4001專門(men)爲各類小(xiǎo)流量氣體(tǐ)的測量和(hé)過🚩程控制(zhi)而設計的(de)。這一系列(liè)傳感器均(jun)采用本公(gong)司🈚自主🏃研(yán)發的微機(jī)電系統（MEMS）流(liú)量傳感芯(xin)片來制作(zuò)，适用于各(ge)類清潔氣(qi)體。*的封裝(zhuāng)技術💁使之(zhi)可用于各(gè)類管徑，成(chéng)本低、易安(an)裝、不需要(yào)溫度壓力(li)補償，可🔱替(ti)代容積式(shi)或壓差式(shi)的傳統流(liú)量傳感器(qi)。

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微小氣體(tǐ)流量計FS4001 産品簡(jian)介：
FS4001 系(xi)列小流量(liang)氣體質量(liàng)流量傳感(gan)器是廣州(zhou)迪川儀器(qi)儀表有限(xiàn)💔公司專門(mén)爲各類小(xiǎo)流量氣體(ti)的測量和(hé)過程控制(zhi)而設計🌏的(de)。這一系列(lie)傳感器均(jun)采用本公(gong)司自主研(yán)發的微機(jī)電系統📞（ MEMS ）流量傳(chuán)感芯片來(lái)制作，适用(yong)于各類清(qīng)潔氣體。*的(de)封裝技術(shu)使之☀️可用(yong)于各類管(guan)徑，成本低(dī)、易安裝、不(bu)需要溫度(du)壓力補🐕償(chang)，可替代容(rong)積式或壓(ya)差式的傳(chuán)統流量傳(chuán)感器。
微小(xiǎo)氣體流量(liàng)計FS4001 産(chǎn)品特點：
- 傳感器(qi)靈敏度高(gao) , 有極(ji)小的始動(dong)流量
- 傳感器芯(xīn)片采用熱(re)質量流量(liàng)計量 , 無需溫度(dù)壓力補償(cháng) , 保證(zheng)了傳
- 感器的高(gao)精度計量(liang)
- 在單(dān)個芯片上(shang)實現了多(duo)傳感器集(ji)成 , 使(shi)傳感器的(de)量程比大(da)大提高
- 傳感器(qi)的零點穩(wen)定度高
- 全量程(cheng)高穩定性(xing)
- 全量(liang)程高精度(dù)和優良的(de)重複性
- 低功耗(hao)
- 低壓(ya)損
- 響(xiang)應時間快(kuai)
主要參數(shù)： FS4001系列微小(xiǎo)流量計

性能參(can)數	FS4001		單(dān)位
通(tōng) 徑	1.0	1.8	mm
大流量(liang)	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(chéng)比	2132132132131231312100:1
精(jing) 度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xing)	0.25		% 讀數(shu)
零點(diǎn)輸出飄移(yi)	±30		mV
輸出(chu)飄移	±0.12		%/oC
響應時間(jian)	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuo)電源	8~18Vdc,50mA
輸出方式(shì)	線性(xing)， RS232/ 模拟(ni)電壓 0.5~4.5Vdc
大流量壓(yā)損	350	300	pa
大(dà)工作壓力(lì)	0.5		MPa
工作(zuò)溫度	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(du)	-20 ~ +65		oC
工作(zuò)濕度	<95%RH （無結冰、無(wú)凝露）
機械接口(kou)	可拆(chāi)式軟管接(jiē)頭
校(xiào)準方式	空氣（或(huo)其他氣體(tǐ)）， 20oC ， 101.325kPa
重量	15		g

FS4001系列(liè)微小流量(liang)計訂(dìng)貨詳情請(qǐng)： 85628522

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